MKS ASTEX ASTRONi AX7670-19 远程等离子体源模块

产品说明

MKS ASTEX ASTRONi AX7670-19是MKS ASTEX旗下ASTRONi系列远程等离子体源，是半导体制造等高端领域反应气体处理的核心组件，专为反应气体活化场景设计。该产品基于专利低场环形等离子体技术，可高效产生原子氟，无需氩气即可完成反应气体活化，集成电源、控制模块与等离子体室于一体，采用紧凑式盖子安装设计，可直接集成至各类工艺设备，能显著提升气体解离率、缩短加工时间、提高生产吞吐量，是半导体刻蚀、化学气相沉积等工艺中设备配套、系统升级及备件替换的专用组件，保障工艺过程的稳定性与高效性。

具体参数

设备类型 远程等离子体源

产品系列 ASTRONi系列

额定NF3流量 3.0 slm

输入电压 200-208VAC

频率范围 50/60Hz

产品认证 CE

安装方式 盖子安装

工作温度范围 -50℃至100℃

核心功能 反应气体活化、原子氟产生

技术架构 集成电源、控制模块、等离子体室

产品性能

气体处理性能：采用专利低场环形等离子体技术，气体解离率高，可稳定产生原子氟，额定NF3流量达3.0 slm，无需氩气即可完成反应气体活化，适配多种工艺气体需求。

工艺适配性能：工作压力适用范围广，可灵活适配不同工艺场景的压力要求，能有效缩短加工时间、提高生产吞吐量，适配半导体领域各类精密工艺。

集成性能：一体化集成电源、控制模块与等离子体室，结构紧凑，采用盖子安装设计，安装便捷，可快速集成至各类工艺设备，无需复杂适配改造。

稳定性能：符合CE认证标准，工作温度范围覆盖-50℃至100℃，环境适应性强，采用经过现场验证的设计架构，可靠性高，长期运行无故障。

操作性能：设计简洁，控制逻辑清晰，可快速启动运行，无需复杂操作流程，便于现场运维与调试，降低运维成本。