Brooks Automation 001-4130-03 是工业级气体流量控制信号处理模块，隶属于 Brooks 001 系列气体监测辅助产品线，核心功能是对质量流量控制器（MFC）输出的流量信号进行采集、调理与转换，同时将上位系统的控制指令传输至 MFC，实现气体流量的闭环管控。该模块集成高精度信号放大电路与光电隔离单元，支持多种标准模拟信号与数字通信协议，具备流量校准触发与故障诊断功能，适配 Brooks SLA、GF 系列 MFC。模块采用紧凑型板卡结构，符合工业电磁兼容标准及半导体行业洁净环境要求，是高精度气体配比、输送系统中的关键信号交互组件。
电气参数
供电电压：24V DC ±5%，支持 22-26V DC 宽幅输入
输入信号：2 路模拟量输入（4-20mA DC，对应 MFC 流量反馈），1 路数字输入（校准触发信号）
输出信号：2 路模拟量输出（4-20mA DC，对应流量控制指令），2 路数字输出（故障告警 / 校准完成）
通信协议：支持 Modbus RTU（RS485 接口），数据传输速率 9600-115200bps 可调
信号精度：模拟量信号转换误差≤±0.1% FS，线性度误差≤±0.05% FS
隔离等级：输入 / 输出信号与系统间 2.5kV AC（1 分钟），通信接口光电隔离
校准功能：支持外部触发零点 / 满量程校准，校准精度 ±0.02% FS
功耗：正常运行≤8W，校准模式≤12W
环境参数
工作温度：0°C 至 55°C，无冷凝状态连续运行
存储温度：-40°C 至 85°C
相对湿度：10% 至 90%（非冷凝，40°C/85% 湿度下稳定运行）
抗电磁干扰：符合 EN 61326-1（工业级），共模抑制比≥130dB，差模抑制比≥80dB
抗振动性能：10-500Hz，0.5g 加速度（IEC 60068-2-6 标准）
抗冲击性能：10g 加速度，11ms 持续时间（IEC 60068-2-27 标准）
防护等级：IP20（板卡级防护，需配合洁净室机柜使用）
洁净等级：兼容 ISO Class 5 洁净室环境，表面颗粒物残留≤10 particles/ft³（≥0.5μm）
机械参数
尺寸：长 152mm× 宽 102mm× 高 25mm，适配标准 19 英寸机柜抽屉式安装
安装方式：导轨式安装（兼容 DIN 35mm 导轨）或螺丝固定安装
接口类型：凤凰端子（电源 / 模拟 I/O），DB9 针型接口（数字通信 / 校准）
外壳材质：阻燃环氧树脂基板（UL 94 V-0 级），表面无硅涂层
重量：约 280g
指示灯：电源（PWR，绿色）、运行（RUN，绿色）、校准（CAL，黄色）、故障（ERR，红色）
模块采用 24 位高精度 A/D 与 D/A 转换芯片，流量信号采样速率达 1kHz，可实时捕捉 MFC 流量微小波动，确保控制指令响应延迟≤100ms。集成数字滤波算法（滤波系数 0.1-10 可调），有效抑制工业现场电磁噪声，在半导体洁净室强干扰环境下仍保持信号稳定性。
支持离线与在线两种校准模式，在线校准无需断开 MFC 连接，通过 Modbus 指令即可触发，校准过程≤30 秒，不影响生产连续性。故障诊断功能可实时监测电源异常、信号超限、通信中断等故障，故障覆盖率≥99%，故障信息通过数字输出与通信总线双重上报，便于快速定位问题。
与 Brooks SLA5800、GF125 系列 MFC 完全兼容，同时支持第三方 MFC（需配置参数），适配多品牌气体控制回路。平均无故障时间（MTBF）≥600,000 小时，满足半导体行业 7×24 小时连续生产需求。
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