LAM 810-370141-001  可编程控制模块

产品说明

LAM 810-370141-001 是 LAM Technologies 推出的高性能可编程控制模块，隶属于 810 系列工业自动化控制模块家族。核心功能是对工业过程实现精确控制与设备集成，可执行逻辑运算、数据采集传输及联动控制，兼具干式蚀刻腔体组件的工艺控制能力，能精准蚀刻晶圆图案、光刻掩模及微型结构。设备采用模块化设计与 SMD 封装，集成多种通信接口与协议，适配 LAM 全系列设备，搭配专用编程工具支持功能定制，具备宽温工作与低功耗特性，是半导体制造、工业自动化等领域关键工艺与系统控制的核心组件。

具体参数

电气参数

输入电压 5V DC 与 120VAC 双规格适配，兼容工业标准供电系统

输出电压 3.3V DC 与 0-10VDC 双路输出，满足不同负载供电需求

控制范围 0-100% 全量程调节，支持连续精度控制

功耗 采用低功耗设计，额定负载下功耗≤5W

通信接口 标配 SPI、RS-232 接口，支持以太网、无线、蜂窝通信扩展

通信协议 兼容 Modbus、Profibus 等现场总线协议及 TCP/IP 协议

编程支持 配套专用编程工具，支持逻辑控制与工艺参数定制编程

保护功能 集成过压、过流保护，具备负载短路自动断电机制

机械参数

封装形式 表面贴装技术（SMD）封装，适配高密度集成需求

安装方式 支持 DIN 导轨安装，兼容标准工业控制柜布局

接口类型 板载针式连接器，支持 SPI、RS-232 及电源快速对接

外壳材质 陶瓷基复合材料外壳，具备绝缘与散热双重特性

状态指示 配备电源（绿色）、运行（黄色）、故障（红色）LED 指示灯

尺寸规格 紧凑型设计，长 × 宽 × 高≤50mm×30mm×10mm，适配狭小安装空间

环境参数

工作温度 -40℃至 85℃，全温度范围无性能降额

存储温度 -55℃至 125℃，满足极端仓储与运输环境要求

相对湿度 5% 至 95%（无冷凝），适应高湿工业场景

电磁兼容 符合工业 EMI/EMC 规范，辐射骚扰≤30dBμV/m

抗振动性能 符合 IEC 60068-2-6 标准，10-500Hz 频率范围 1g 加速度

产品性能

控制精度高，输出电压误差≤±0.1%，控制范围调节步长≤0.1%

集成能力强，兼具控制模块与蚀刻组件功能，实现工艺与控制一体化

通信扩展性好，多接口多协议支持，满足单机控制与系统组网需求

适配性优异，完全兼容 LAM 系列设备，无需转接即可直接集成

环境耐受性强，-40℃至 85℃宽温工作，耐受工业极端温度环境

运行稳定性高，工业级元器件与多重保护设计，平均无故障时间≥1,000,000 小时

安装灵活性高，SMD 封装与导轨安装双适配，适配不同集成场景

维护便捷性好，模块化结构支持快速更换，LED 状态指示简化故障定位