AMAT 0200-36631 高精度加热器盖板

产品说明

AMAT 0200-36631是应用材料公司（AMAT）旗下的高精度加热器盖板组件，是半导体制造设备的核心机械配件，专为AMAT DXZ系列8英寸加热器设计。该产品采用图案化氮化铝（AIN）材质制成，主要应用于半导体化学气相沉积（CVD）工艺设备中，承担加热器防护、热场均匀传导及反应腔室密封辅助功能，可有效抵御等离子体环境、高温及腐蚀性气体侵蚀，结构设计贴合设备腔体，安装便捷，是半导体产线设备维护、备件替换的专用组件，保障晶圆加工工艺的稳定性与精准度。

具体参数

设备类型 加热器盖板组件

产品系列 AMAT 0200系列

适配尺寸 8英寸加热器

材质 图案化氮化铝（AIN）

适配设备 AMAT DXZ系列半导体设备

工作温度范围 -40℃至550℃

存储温度范围 -50℃至600℃

耐腐蚀性 可耐受SiH₄、NH₃等半导体工艺腐蚀性气体

表面工艺 图案化处理

安装方式 腔体嵌入式安装

真空兼容性 支持高真空环境（≤1e-6 Torr）

认证标准 CE、UL、SEMI S2标准

产品性能

材质性能：采用高纯度图案化氮化铝（AIN）材质，耐高温性能优异，可在550℃高温环境下长期稳定工作，导热性良好，能确保加热器热场均匀传导，保障晶圆加工温度一致性。

耐腐性能：具备极强的抗腐蚀能力，可直接耐受半导体CVD工艺中常见的SiH₄、NH₃等腐蚀性气体及等离子体环境侵蚀，避免材质老化破损，延长使用寿命。

适配性能：专为AMAT DXZ系列8英寸加热器精准设计，尺寸与安装接口完全匹配，无需额外适配改造，嵌入式安装方式便捷，可快速完成备件替换与设备维护。

结构性能：采用图案化表面设计，贴合设备腔体结构，密封性良好，可辅助维持反应腔室真空环境，同时起到防护加热器的作用，防止工艺副产物沉积造成设备损坏。

稳定性能：真空兼容性强，可适应半导体工艺高真空要求，物理性能稳定，无变形、无挥发，不会对晶圆加工工艺造成污染，保障产线连续稳定运行。