AMAT 0010-11491 陶瓷加热器组件

产品说明

AMAT 0010-11491是应用材料公司（AMAT）旗下的200mm陶瓷加热器组件，是半导体制造设备的核心加热部件，专为AMAT WXZ MII系列半导体设备设计。该产品采用陶瓷材质制成，主要应用于半导体化学气相沉积（CVD）等工艺设备中，承担晶圆加工过程中的精准加热、热场均匀传导功能，可适配高真空、高温工业环境，结构设计贴合设备腔体，安装便捷，是半导体产线设备维护、备件替换的专用组件，保障晶圆加工工艺的稳定性与温度控制精度。

具体参数

设备类型 陶瓷加热器组件

产品系列 AMAT 0010系列

适配尺寸 200mm

材质 陶瓷

适配设备 AMAT WXZ MII系列半导体设备

关联部件 0040-49807 REV 001

工作温度范围 -40℃至550℃

存储温度范围 -50℃至600℃

真空兼容性 支持高真空环境（≤1e-6 Torr）

耐腐蚀性 可耐受半导体工艺常见腐蚀性气体

安装方式 腔体嵌入式安装

认证标准 CE、UL、SEMI S2标准

产品性能

加热性能：具备精准温度控制能力，可实现均匀热场传导，有效减少热梯度，确保晶圆加工过程中温度稳定一致，满足半导体工艺对加热精度的严苛要求。

材质性能：采用高强度陶瓷材质，耐高温性能优异，可在550℃高温环境下长期稳定工作，物理性能稳定，无变形、无挥发，不会对晶圆加工工艺造成污染。

适配性能：专为AMAT WXZ MII系列半导体设备精准设计，尺寸与安装接口完全匹配，关联部件适配性强，无需额外适配改造，嵌入式安装方式便捷，可快速完成备件替换与设备维护。

环境适应性能：支持高真空工作环境，具备良好的耐腐蚀性，可耐受半导体CVD等工艺中常见的腐蚀性气体，适配半导体洁净室及工业恶劣环境，长期运行稳定性强。

结构性能：结构设计贴合设备腔体，密封性良好，可辅助维持反应腔室真空环境，同时具备良好的机械强度，能承受工业现场的振动与冲击，延长使用寿命。