ZYGO ZMI-4004 是高精度激光干涉测量系统，核心功能是实现三维位移、平面度、直线度及角度的纳米级精度测量，适配精密制造领域的质量控制与设备校准场景。该系统采用氦氖激光（632.8nm）作为测量光源，通过 Michelson 干涉原理将物理位移转化为干涉条纹信号，经高速信号处理单元解析为数字量，支持实时数据传输与离线分析。其一体化设计集成激光发射器、干涉仪、探测器及控制单元，可直接对接三坐标测量机、精密机床等设备，无需额外拼接组件，能在工业环境中稳定输出测量结果，是半导体制造、光学元件加工等高端领域实现微米级误差控制的关键检测设备。
电气参数
供电电压：100-240V AC±10%（50/60Hz）
额定功耗：≤60W（正常测量状态）
激光类型：氦氖（He-Ne）激光
激光波长：632.8nm（±0.1nm）
激光输出功率：0.5mW（连续输出，CLASS II 激光）
数据接口：Ethernet（100Mbps）、USB 3.0（数据存储）
测量参数
位移测量范围：0-10m（线性测量模式）
位移测量分辨率：0.1nm（全量程范围内）
线性测量精度：≤0.1μm/m（20℃环境温度，无气流干扰）
平面度测量范围：0-500mm×500mm（单次测量区域）
平面度测量精度：≤0.5nm（参考平面校准后）
动态响应频率：≤1kHz（实时数据更新）
角度测量范围：±10°（俯仰角 / 偏摆角）
角度测量分辨率：0.01arcsec
环境参数
工作温度范围：15℃-30℃（温度波动≤0.5℃/h 时）
存储温度范围：-10℃-40℃（无冷凝）
相对湿度：30%-60%（无冷凝，温度≤30℃时）
抗振动等级：符合 ISO 10816-3 标准（10-1000Hz，加速度≤1g）
电磁兼容：符合 EN 61326-1 工业设备标准（Class A）
气流敏感度：≤0.1m/s（环境气流速度，超出需加装气流屏蔽罩）
物理参数
安装方式：桌面式固定 / 三脚架安装（兼容 M12 螺纹接口）
外形尺寸（长 × 宽 × 高）：380mm×260mm×150mm（主机单元）
净重：5.2kg（含激光发射器与控制单元，不含测量附件）
探测器类型：CCD 阵列探测器（分辨率 1280×960 像素）
测量附件：标配平面反射镜（直径 25mm，平面度≤λ/20）、角反射镜（直角误差≤1arcsec）
纳米级测量精度：位移测量分辨率达 0.1nm，线性精度≤0.1μm/m，平面度测量精度≤0.5nm，可捕捉精密元件（如半导体晶圆、光学透镜）的微观形貌误差，满足 2nm 制程芯片制造的检测需求。
高动态响应：1kHz 动态响应频率支持实时跟踪高速运动设备（如精密机床主轴）的位移变化，数据更新无延迟，避免运动惯性导致的测量偏差。
长期运行稳定性：激光波长稳定性≤0.001nm/h，连续测量 8 小时数据漂移≤0.2nm，无需频繁校准即可维持测量准确性，适配生产线 7×24 小时质量检测场景。
强环境适应性：在 15℃-30℃温度范围与≤0.1m/s 气流环境下，测量误差增幅≤5%；电磁兼容设计可抵御工业现场高频干扰，数据采集误码率≤10⁻⁹。
多参数集成测量：单次 setup 可同时完成位移、平面度、角度测量，无需更换附件，测量效率较传统设备提升 60%，减少精密元件检测的工序复杂度。
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