ZYGO ZMI-2002 8020-0211 高精度双轴测量板

产品说明

ZYGO ZMI-2002 8020-0211 是美国 Zygo 公司推出的高精度双轴测量板，隶属于 ZMI-2000 系列位移测量干涉仪电子装置，核心功能为基于干涉测量技术实现双轴同步位移与距离的精密计量，适配激光干涉测量系统。该产品采用 6U VME 标准板卡设计，支持 VME、ISA 及简化 P2 接口，可通过总线与伺服卡、电机控制器无缝连接，支持多板扩展至 16 个测量轴，集成数字化信号处理模块，能实时捕捉并处理测量信号，是半导体制造、光学加工等领域高精度检测与控制场景的核心组件。

具体参数

• 电气参数测量轴数：双轴，支持两正交轴同步测量测量精度：小于 1 纳米时间分辨率：25 纳秒时间范围：107.4 秒供电电压：+5V ±5%，工作电流 3.5A接口类型：VME、ISA 总线接口，简化 P2 信号接口数据传输：支持 D16 或 D32 数据宽度，A16 或 A24 寻址方式数据速率：P2 接口数据速率达 7.7MHz中断功能：支持 D08 中断确认周期信号处理：集成数字化信号处理模块，兼容模拟与数字输入信号

• 环境参数工作温度：0℃至 40℃（非冷凝环境）存储温度：-20℃至 60℃相对湿度：5% 至 90%（无冷凝）防护等级：IP54抗干扰性能：符合 VMEBus 规范修订版 C.1，具备低噪声信号处理能力

• 机械参数外形尺寸：229mm×114mm×29mm外壳材质：金属屏蔽外壳，抗腐蚀处理重量：1.2 公斤安装方式：6U VME 机箱标准插槽安装合规标准：符合 VME 总线机械规范

产品性能

双轴同步测量能力突出，可同时捕捉两个正交轴的位移变化，配合 25 纳秒时间分辨率，能实时还原快速动态位移过程，适配三维轮廓与面形测量需求。

测量精度达纳米级，小于 1 纳米的精度指标结合低噪声信号处理技术，可精准识别微小位移量，满足半导体晶圆、光学元件等高精度工件的检测要求。

系统扩展性强，通过 P2 接口总线可实现多板级联，支持扩展至 16 个测量轴，且保持 7.7MHz 的高速数据传输速率，无需额外转接模块即可构建多轴测量系统。

集成与兼容性优异，符合 VMEBus 规范，支持 VME/ISA 双总线编程控制，可直接对接伺服卡、电机控制器及上位机系统，参数配置与数据读取流程简化，适配工业自动化与科学实验的复杂系统环境。

运行稳定性可靠，金属屏蔽外壳抵御电磁干扰，IP54 防护等级隔绝粉尘与泼溅，在 0-40℃工业温区可连续稳定工作，满足长时间精密测量场景需求。